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张旭浩:微加热器上不同工质的气泡动力学实验论文
本文主要研究内容作者张旭浩,范聪,余海洋,黄雪琴,邓佩刚(2019)在《微加热器上不同工质的气泡动力学实验》一文中研究指出:设计并采用MEMS工艺制造了一种特征尺寸10μm并能...