热壁

金属有机化学气相外延论文-李琳,李成明,杨功寿,胡西多,杨少延
导读:本文包含了金属有机化学气相外延论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:金属有机化学气相沉积,反应腔体,热壁,喷管金属有机化学气相外延论文文献综述李琳,李成明,...