射频磁控溅射沉积论文

本文主要研究内容作者孙科学,常月欣,成谢锋（2019）在《xBiInO3-（1-x）PbTiO3薄膜的横向压电特性》一文中研究指出：近年来,压电薄膜在表面声波及压电器件等领域的...