射频磁控溅射论文
郭鹏飞:氧化钒薄膜的磁控溅射生长及其光电性能研究论文
本文主要研究内容作者郭鹏飞(2019)在《氧化钒薄膜的磁控溅射生长及其光电性能研究》一文中研究指出:二氧化钒(VO2)是一种相变材料,当温度达到相变点时,VO2发生由低温半导体...王林青:氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响(英文)论文
本文主要研究内容作者王林青,周永涛,王军军,刘雪芹(2019)在《氢稀释比对磁控溅射低温(100℃)沉积氢化微晶硅薄膜微结构特性的影响(英文)》一文中研究指出:在低温(100℃...杨勇:氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响论文
本文主要研究内容作者杨勇,汪冰洁,姚婷婷,李刚,金克武,沈洪雪,王天齐,杨扬,彭赛奥,甘治平,马立云(2019)在《氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂二氧化钛薄膜性能的影响》一文中研究指出:常温下利用TiO2陶瓷靶采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了N掺杂TiO2薄膜。利用光学轮廓仪、X射线衍射...马德福:柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究论文
本文主要研究内容作者马德福,王刚,王慧芬,张亚非(2019)在《柔性FEP基底修饰对ZnO:Al薄膜透明导电与附着力性能的影响研究》一文中研究指出:采用O2等离子体对柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)进行表面处理,然后,利用射频磁控溅射法在柔性氟化乙烯丙烯共聚物(FEP)上沉积修饰一层超薄SiO2,再...