射频溅射论文

一、铜铌溅射超导四分之一波长谐振腔的研究（论文文献综述）潘峰[1]（2021）在《铜基底射频超导腔溅射镀膜关键技术研究》文中指出相比于传统加速结构,射频超导腔因其具有更大的束流...

本文主要研究内容作者岳天峰,刘嘉琪,文峰,马艳平,丁春华,姜宏（2019）在《基底负偏压对CO2气相反应溅射制备C∶TiO2薄膜性能的影响研究》一文中研究指出：采用射频磁控溅射...