射频微系统论文

本文主要研究内容作者王驰,卢伊伶,祝大龙,刘德喜（2019）在《基于硅基MEMS工艺的X频段三维集成射频微系统》一文中研究指出：基于硅基MEMS工艺的宽带射频收发微系统在实现武...