石英管论文

本文主要研究内容作者沐雯,沈伟东,杨陈楹,郑晓雯,王震,袁华新,袁文佳,章岳光（2019）在《基于原子层沉积技术的石英管表面减反射膜的制备》一文中研究指出：采用原子层沉积(ALD)技术在石英管表面制备了薄膜,研究了该薄膜的均匀性,以及石英管的内径、外径、长度对沉积薄膜均匀性的影响。以单波长减反射膜为...