双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射

放电电源论文-吴厚朴,田钦文,田修波,巩春志
导读:本文包含了放电电源论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射,正向脉冲,靶电压,靶电流放电电源论文文献综述吴厚朴,田钦文,田修波,巩...