梳齿

速度加速度耦合论文-李波,张宾
导读:本文包含了速度加速度耦合论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:MEMS,梳齿,电容,加速度器速度加速度耦合论文文献综述李波,张宾[1]（2016）在《单轴微...