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四面体非晶碳膜论文
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许世鹏:膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响(英文)论文
本文主要研究内容作者许世鹏,李晓伟,陈仁德,李玉宏,汪爱英(2019)在《膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响(英文)》一文中研究指出:利用自主研制的45°双弯曲磁过滤阴极...