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孙艳:靶基距对ZnMgO:Ti透明导电薄膜性能的影响论文
本文主要研究内容作者孙艳,倪庆宝,张化福,刘云燕,刘汉法(2019)在《靶基距对ZnMgO:Ti透明导电薄膜性能的影响》一文中研究指出:采用直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了Zn...