退火晶化论文

本文主要研究内容作者胡浩威,井津域,李钦,宋忠孝（2019）在《SiN_X覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究》一文中研究指出：采用射频磁控溅射在二氧化硅...