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陈哲权:基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究论文
本文主要研究内容作者陈哲权,何勇,方中,潘绪超,何源(2019)在《基于非制冷微测辐射热计的非晶硅锗薄膜电学特性研究》一文中研究指出:采用等离子体增强化学气相沉积方法(PECV...