微电铸器件论文

本文主要研究内容作者杜立群,赵文君,翟科,杜成权,魏壮壮,姬学超（2019）在《基于纳米压痕技术的兆声辅助电铸微器件残余应力研究》一文中研究指出：微电铸已成为制作金属微器件的关...