微加热器论文

本文主要研究内容作者张旭浩,范聪,余海洋,黄雪琴,邓佩刚（2019）在《微加热器上不同工质的气泡动力学实验》一文中研究指出：设计并采用MEMS工艺制造了一种特征尺寸10μm并能...