微结构阵列论文

本文主要研究内容作者林泽钦,王素娟,陈新度（2019）在《微结构阵列的超精密偏心加工方法》一文中研究指出：慢刀伺服加工微结构阵列的轨迹特点会影响阵列中各单元误差分布的一致性,并...