微米间隙论文

本文主要研究内容作者王科镜,李南,陈先龙,应琪,成永红,孟国栋（2019）在《电容式射频微机电系统开关的纳秒脉冲击穿及损伤特性》一文中研究指出：设计并制备了典型电容式射频微机电...