微驱动器论文

本文主要研究内容作者陈筠菲,漆明净（2019）在《静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真》一文中研究指出：相较于传统静电微驱动器,基于自激振动的静电微驱动器具有输出位移更大的优点...