微悬臂梁

悬臂梁式加速度计论文-高东强,杨磊,郭健,韩昆
导读:本文包含了悬臂梁式加速度计论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:MEMS,微加速度计,微悬臂梁,振动特性悬臂梁式加速度计论文文献综述高东强,杨磊,郭健,韩昆...