无籽晶阻挡层论文

本文主要研究内容作者邹建雄,林黎蔚,焦国华,鲁远甫,刘波,徐可为（2019）在《铜互连微结构中无籽晶RuMoC扩散阻挡层的稳定性（英文）》一文中研究指出：采用磁控共溅射Ru和M...