镶嵌靶论文

本文主要研究内容作者张必壮（2019）在《AlN薄膜改性技术与工艺研究》一文中研究指出：AlN薄膜具有优异的物理和化学性质,被广泛应用于薄膜器件和压电执行器,如无线通讯用RF滤...