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翁瑶:Si(110)衬底上AlN薄膜的激光分子束外延法制备及其光电性能研究论文
本文主要研究内容作者翁瑶(2019)在《Si(110)衬底上AlN薄膜的激光分子束外延法制备及其光电性能研究》一文中研究指出:AlN薄膜以其优异的性能在光电子和微电子领域具有广...