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陈宁:基于Gsolver的双层纳米光栅位移检测装置设计与衍射特性研究论文
本文主要研究内容作者陈宁,索艳春(2019)在《基于Gsolver的双层纳米光栅位移检测装置设计与衍射特性研究》一文中研究指出:针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高的难题...