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张炜鑫:倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究论文
本文主要研究内容作者张炜鑫,巩春志,温家瑞,马玉山,刘海波,何涛,岳玲,田修波(2019)在《倍频微脉冲复合高功率磁控溅射TiCN薄膜结构及性能研究》一文中研究指出:如何提高高...