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商圣飞:防溅射靶对离子推力器背溅射沉积污染的影响论文
本文主要研究内容作者商圣飞,向树红,姜利祥,蔡国飙,顾左(2019)在《防溅射靶对离子推力器背溅射沉积污染的影响》一文中研究指出:针对目前对真空舱背溅射沉积污染的计算模型误差较...