真空腔室论文

本文主要研究内容作者吴宗跃,杨铁牛,黄尊地,赵蕾蕾,杜华娜（2019）在《低压腔室内流速分布规律研究》一文中研究指出：工艺腔室内气体流动状态对于目标产品的性能影响极为重要。为研...