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糜长成:β-Si3N4涂层辅助定向生长高效多晶硅的研究论文
本文主要研究内容作者糜长成,蔡延焕,周兵,董慧,戚凤鸣,黄新明(2019)在《β-Si3N4涂层辅助定向生长高效多晶硅的研究》一文中研究指出:Si3N4是铸造多晶硅锭常用的脱模...