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陈筠菲:静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真论文
本文主要研究内容作者陈筠菲,漆明净(2019)在《静电微驱动器的高阶自激振动与数值仿真》一文中研究指出:相较于传统静电微驱动器,基于自激振动的静电微驱动器具有输出位移更大的优点...