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徐平:无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作论文
本文主要研究内容作者徐平,黄燕燕,张旭琳,杨伟,彭文达(2019)在《无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作》一文中研究指出:基于双面集成微结构薄片元件在集成光学成像、光束整形...