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马旺:轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究论文
本文主要研究内容作者马旺,李益文,赵伟灼,魏小龙,罗思海(2019)在《轴向磁场下感应耦合放电模式转换的实验研究》一文中研究指出:为探究轴向磁场对纯Ar感应耦合等离子体放电模式...